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检索条件"机构=无锡纳能科技有限公司，江苏无锡214000"
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一种MEMS热驱动可变电容的分析模拟
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《电子与封装》2013年 第10期13卷 40-43页
作者：陈立军 沈娇艳 雷鸣 陈杰 唐剑平无锡纳能科技有限公司江苏无锡214000 苏州科技学院数理学院，江苏苏州，215000 无锡纳能科技有限公司，江苏无锡214000 中国电子科技集团公司第58研究所，江苏无锡214035 
文中设计并分析了一个MEMS热驱动可变电容，它的下极板固定于衬底，上极板通过热致动器驱动。热致动器由冷臂和热臂组成，一端通过锚点固定于衬底，一端连接在电容器上极板。热驱动器通过电压驱动使MEMS电容器上极板上下运动。文中作者...
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