摘要：提出一种超声振动辅助化学机械复合抛光硅片边缘新技术,建立了抛光工具设计、性能检测及复合抛光实验系统,并进行了不同超声振动形式传统化学机械以及抛光工具对硅片边缘抛光的实验研究。结果表明,在相同抛光条件下,抛光工具超声椭圆振动对抛光效果的改善作用最佳。抛光工具加入超声椭圆运动后,工件表面粗糙度值Ra由传统抛光法的0.059μm降低到0.043μm,材料去除量增加22%,且抛光表面形貌有明显改善。

摘要：本文对球形对象族系统最优鲁棒镇定问题进行了研究.利用最小范数解方法求解球形对象族的可镇定性半径.可镇定性半径是系统稳定性半径的上界,最优控制器的稳定性半径等于镇定性半径.文中给出球形对象族最优鲁棒控制器的形式,并通过示例具体说明球形对象族最优鲁棒控制器的设计方法.

摘要：本文提出一种以超声椭圆振动板取代传统导轮的新型无心磨削技术,通过对该部件中的压电陶瓷(lead zirconate titanate,PbZrTiO3,PZT)施加交流电压,在该板端面产生超声椭圆振动并控制工件的旋转速度.从振型、激振方式、结构和尺寸等方面,对该超声椭圆振动部件进行了设计,研究了输入信号参数(频率、相位差和电压幅值)与振动部件中金属板端面超声椭圆振动的形状和幅值之间的关系.实验结果表明,该超声椭圆振动板具有良好的性能,其端面的超声椭圆振动能精确控制工件旋转的速度.最后,采用改进后的超声椭圆振动无心磨床对初始直径为1 mm～5 mm的微小圆柱形工件进行了磨削实验.实验结果表明。

摘要：采用磁性混合流体（Magnetic compound fluid,MCF）对光学镜头模具的镍-磷（Nickel phosphorus,Ni-P）镀层表面进行抛光研究。试验中使用两种构成成分的MCF：常用的BASF制HQ铁粉（Carbonyl-iron-particles,CIPs）和Al2O3磨粒基MCF1以及新型的表面ZrO2磨粒（50~100 nm）涂层铁粉基MCF2。两种成分的MCF都消除了Ni-P镀层表面单晶金刚石车削残留的螺旋状切削痕。但使用MCF1,由于Al2O3磨粒相对于ZrO2磨粒较大且较硬,易引入抛光痕及铁粉粒子的嵌入,难以进一步改善Ni-P镀层的表面质量。采用新型ZrO2磨粒涂层铁粉基MCF2,则没有引入抛光痕及粒子的嵌入,实现Ni-P镀层表面粗糙度方均根值（Root mean square,RMS）和Ra的改善。通过在x轴和y轴方向设计抛光路径,使粒子均具有相对运动速度,同时改善了Ni-P镀层的表面粗糙度及平坦度。初步证明了磁性混合流体抛光亦可用于较软的磁性材料表面的纳米级光整加工。

摘要：提出一种用于微细工件加工的新型无心磨削技术。该技术采用超声椭圆振动板取代传统无心磨床中导轮,在加工中超声椭圆振动板和托板共同支撑和控制工件的运动。通过FEM优化设计超声振动板的结构;利用测试系统对其性能进行测试,确保超声振动板端面振动轨迹可以通过施加在PZT上的输入参数来控制;通过工件转速评价装置证实振动板端面超声椭圆振动能精确控制工件旋转速度。在改进后的无心磨床上对工件进行磨削实验,结果表明:硬质合金材料工件磨削后其直径为0.06 mm,长度为15 mm,长径比达到250,证实了该技术对微细工件加工的有效性。

摘要：传统化学机械抛光是硅片获得超光滑表面的常见加工方法,这种游离磨粒的化学机械抛光的加工效率及加工表面质量低,加工时需大量使用对环境污染严重的化学抛光剂,特别是硅片直径的不断增大而导致加工困难等方面所表现的问题越来越突出。因此提出了一种超声椭圆振动协同化学作用辅助固结磨粒的复合抛光硅片新技术,并对此加工机理进行了理论分析。研制了复合抛光装置,对抛光工具设计进行了详细论述,在此基础上开展了硅片复合抛光与传统抛光的对比试验研究。试验结果表明,在相同的试验条件下,复合抛光技术不但硅片抛光表面质量得到改善,而且抛光效率也得到提高。该方法为硅片的精密加工探索了一种新方法。

摘要：针对硅片的传统化学机械抛光,特别是随着硅片直径不断增大,硅片抛光表面质量和抛光效率成为一个亟待解决的问题。介绍一种超声椭圆振动-化学机械复合抛光新技术,并对抛光机理,抛光工具设计,性能及检测进行了详细论述和说明。在上述研究工作基础上,建立了超声椭圆振动辅助抛光实验系统,并进行了实验研究。实验结果显示,在抛光加工中引入超声椭圆运动后,工件抛光表面粗糙度值由传统抛光法的Ra0.077μm降低到Ra0.032μm,材料去除率最多可提高24%,且工件表面形貌有明显改善。

摘要：随着科学技术的发展,光学元件和工程陶瓷等先进材料得到广泛应用,迫切需要解决传统磨削加工硬脆性材料效率低与质量差等难题。相关研究已经证实,椭圆形超声振动辅助磨削(EUAG)方法能够实现硬脆性材料的低损伤和低应力去除。本文基于行波型超声电动机的原理,利用ANSYS有限元软件进行建模、模态分析及灵敏度分析,实现了椭圆形超声振动换能器结构参数的优化设计,并对优化模型进行了谐响应分析,得到了在相应激励下换能器椭圆振动长短轴方向的振幅值。本文利用ANSYS软件,成功优化设计了椭圆形超声振动换能器,为实现EUAG技术奠定了基础。

摘要：广州夏季高温高湿,基于广州城乡老年人的室内环境差异,通过问卷调查了解了116名广州城乡老年人的室内居住环境,并对5户典型城市及5户典型农村65岁以上居民住宅的夏季室内环境进行了对比实测研究,测量每户住宅的客厅,卧室和卫生间的温度、相对湿度及CO2、CO、PM2.5、挥发性有机物浓度。研究表明,广州农村住户夏季主要使用风扇降温,仅有约三分之一住户同时使用空调,而城市住户均使用空调,大部分住户同时使用风扇;广州农村住户夏季室内平均空气温度比城市住户低0.8℃,平均相对湿度比城市住户高21.6%;通风较差的住户室内CO2浓度相对较高,所有实测城市及农村住户的CO、PM2.5的浓度都低于国家标准规定的极限值;广州城市住户的室内外PM2.5浓度及室内总挥发性有机物的浓度总体高于农村住户。广州农村老年人住宅应加强防潮处理,城市老年人住宅应加强通风换气,优选环保家具。

摘要：参数鲁棒镇定问题(RSP)是针对具有参数不确定性的被控对象族设计一个鲁棒控制器C(s),该控制器可以鲁棒镇定对象中的每一个对象。RSP一直以来是鲁棒控制研究领域的难点和重点。被控对象Ρ(s,δ)的可镇定性是其鲁棒镇定问题的可解性条件。可镇定性半径δS定义为对象族满足可镇定性条件其不确定性参数向量δ的最大范数界,当‖δ‖<δS时对象族Ρ(s,δ)中任一对象都满足可镇定性。对具有纯虚零极相消的区间对象族进行研究,提出其可镇定性半径的解析计算方法。