摘要：设计了一种外置式电感耦合等离子增强化学气相沉积装置,并利用该装置在n型硅片上低温沉积了SiO2薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、傅立叶变换红外吸收谱(FTIR)等对生长的薄膜进行表征。SEM测试结果表明,利用该装置沉积的SiO2薄膜表面平整,薄膜均匀性好;根据FTIR图中Si-O峰的横向与纵向光学声子吸收峰的分析发现,沉积功率越大,薄膜越疏松;等离子体区域内不同位置沉积的薄膜均匀,能够用于大规模、大面积的工业生产。此外,为了方便地获知SiO2薄膜的厚度,我们推导出了50W的功率下,薄膜厚度随沉积温度、沉积时间变化的经验公式。

摘要：长余辉发光材料的力致发光现象是近年来相关领域的研究热点之一,在力传感器特别是冲击力传感器领域有重要的应用前景。但是,力致发光现象的强度很弱,一般需高灵敏度的光电倍增管进行测量。为了解决这个问题,该文以共掺Dy和Eu的Al2Sr O4长余辉片材为冲击敏感单元,以一个APD雪崩光电二极管为光检测与放大元件,加上自行设计的弱电流检测模块与高压偏置电源,成功地观测到了小球冲击引起的长余辉发光材料的力致发光现象。装置体积小、重量轻、成本低,可以实现冲击力检测设备的小型化。