摘要：集成电路数字测试机最关键的核心技术是数字测试模块技术,其技术性能直接决定了数字测试机的技术能力。数字测试模块的关键技术指标是测试速度和向量深度,其中测试速度的提升和稳定性直接决定了整个数字测试机的能力。本文从数字模块的基本原理分析,探讨数字测试模块时钟及数字信号边沿控制技术,对数字通道信号边沿对齐同步做了技术分析,对数字测试机的整体技术能力提升提供了有效的帮助。

摘要：电压电流源在集成电路自动测试设备是必配的资源,最大电压和电流的规格会有不同的要求,但都会对电压和电流的精度提出很高的要求。本文通过对电源线路原理的优化设计,解决了电源输出通过连接器和导线等不同路径对输出精度的影响,通过算法进一步提升了电源的精度和一致性,为测试机高精度电压电流源设计提供了有效的解决方案。

摘要：本文提出了一种压力自适应控制的集成电路分选设备的设计与实现。首先,针对分选设备机械运动过程中复杂情况和压力实时监测需求,完成了分选设备测压机构的结构设计,下压的末端增加压力传感器,可实现压力的在线实时监测。其次,优化膜片缓冲装置,减少机构下压过程中压力的过冲、波动,提高响应速度。再次,研究不同工况、不同芯片应用场合下的压力自适应控制策略。最后,经过测试,制作的IC分选设备性能参数能满足工程应用的要求。

摘要：晶圆测试是芯片制造产业中十分重要的环节,是芯片良品率最主要的测试方法,探针台作为晶圆测试的主要设备,用来检测晶圆质量的好坏,在芯片制造过程中有着重要的作用。晶圆片尺寸的增大和晶圆密度的提高会导致探针台晶圆测试时间的增加,需要运行速度更快的机械装置和更加精确的机器视觉识别系统来执行测试工作。高速运行的机械装置给本就复杂的晶圆测试体系中额外增加了振源,以及其他设备引起的环境振动,使得晶圆测试不稳定性增加。本文采用有限单元仿真软件对探针台结构进行数学建模,通过施加探针台制造和运行过程中典型的动载荷对探针台中的典型部件进行动力学分析,得到了探针台各部件结构的固有频率和模态振型,进而研究影响探针台振动的主要物理因素,通过分析这些物理因素来优化探针台各部件的质量分布、刚度设计和阻尼设计。本文的研究可望为提升晶圆测试时受振动激励下的控制精度和稳定性提供数据支撑,为研发高速度、高精度、高自动化、高可靠性的全自动晶圆探针测试台提供理论支持和方法借鉴。