摘要：为了用机器视觉检测技术精确检测微小零件的几何轮廓误差,设计了一套高分辨率非球面双远心物镜。根据检测要求确定系统的光学参数,运用架构分析法对系统进行整体光学初始结构设计。运用Zemax光学设计软件对初始结构进行优化,在物镜设计中引入非球面,使结构简化,并有效地平衡系统像差,提高像质。这个结构实现了低畸变(最大畸变小于一个像素)、高分辨率[在奈奎斯特频率90.91 lp/mm处调制传递函数(MTF)值优于0.7,全视场400 lp/mm处MTF值达到0.15]和双远心系统的设计要求。

摘要：根据芯片加工完成后常见缺陷,提取特征并将其分类。基于信息熵特征选择方法,将这些特征量进行优化选择。基于BP神经网络的构建了筛选器模型,并设计了机械结构,通过现场对样本的采集进行训练与测试,结果表明该筛选器能够很好识别5种常见的芯片缺陷。