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Si/SiGe异质结双极晶体管的研制(英文)
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《功能材料与器件学报》2002年 第2期8卷 123-127页
作者:杨沛锋 李开成 何林 刘道广 张静 李竞春 谢孟贤 杨谟华电子科技大学微电子科学与工程系成都610054 模拟集成电路国家重点试验室重庆400060 
通过理论分析计算、计算机模拟和工艺实验,对Si/SiGe异质结双极晶体管(HBT)的结构参数进行了精细的优化设计,特别是采用了本征间隔层和新颖的Ge分布曲线,有效地削弱了基区杂质外扩散、基区复合和异质结势垒效应的不利影响。开发了兼容...
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