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基于Si_3N_4掩模的太阳电池选择性掺杂工艺研究
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《半导体光电》2013年 第2期34卷 259-263页
作者：王强 张竹青 沈明荣 花国然 张华 李志锋苏州大学物理科学与技术学院江苏苏州215006 南通大学电子信息学院江苏南通226019 南通大学机械工程学院江苏南通226019 江苏综艺光伏有限公司江苏南通226376 
设计了基于Si3N4掩模的太阳电池选择性掺杂工艺,并对其工艺参数进行了仿真优化。选择性掺杂电池的一次掺杂条件为仿真所得最佳非选择性掺杂电池的工艺参数。运用SILVACO软件分别对选择性掺杂的时间、预淀积浓度和温度进行了仿真研究。...
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