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膜厚类测试仪器的比对
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《计算机与数字工程》2010年 第9期38卷 49-51,76页
作者：李锁印 李建强 魏玲 王亚军中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 河南北方红阳工业集团公司区域计量站洛阳451450 河北燕兴机械有限公司张家口075041 
文章介绍了膜厚类测试仪比对方法的设计、比对结果的处理及比对周期的选取等,给出了台阶仪和光谱型膜厚测量仪的实际结果。该方法也适用于其他仪器的比对,并给出了比对中应注意的问题。
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