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电感耦合等离子体质谱法测定电子级NF3中金属杂质: 收藏
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引用; 《化学推进剂与高分子材料》2018年第5期16卷 86-89页; 作者：焦培培黄晓磊杨亚琴吴旭飞付梦月张亚平洛阳黎明大成氟化工有限公司河南洛阳471012 黎明化工研究设计院有限责任公司河南洛阳471000; 采用密闭的取样系统吸收电子级NF3中金属杂质,利用电感耦合等离子体质谱法（ICP—MS）测定了吸收液的金属杂质含量。结果表明：该方法测定电子级NF3中金属杂质含量的相对标准偏差≤3.09%,NF3中各项金属杂质含量远远低于指标3×10^–9。; 采用密闭的取样系统吸收电子级NF3中金属杂质,利用电感耦合等离子体质谱法（ICP—MS）测定了吸收液的金属杂质含量。结果表明：该方法测定电子级NF3中金属杂质含量的相对标准偏差≤3.09%,NF3中各项金属杂质含量远远低于指标3×10^–9。; 来源：详细信息评论

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