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VLSI成品率预测与仿真
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《电子学报》1999年 第2期27卷 55-58页
作者：郝跃 林锐 马佩军西安电子科技大学微电子所 浙江大学CAD&GC实验室 
本文建立ＩＣ光刻工艺相关缺陷计算模型和基于ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ统计成品率计算模型．阐述了集成电路功能成品率仿真系统ＸＤＹＥＳ实现，讨论了应用ＸＤＹＥＳ实现功能成品率设计，并给出该系统实用性验证．研究分析表明，其结...
来源：详细信息评论
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