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IC基板传输机器人末端执行器结构拓扑优化设计
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《半导体光电》2020年 第4期41卷 513-516页
作者:祝锡晶 郭宵 林知微 陈祥玺中北大学机械工程学院太原030051 北京理工大学自动化学院智能系统协同创新研究中心北京100081 浙江轩业精密制造有限公司浙江台州317500 
在半导体封装基板检测的传输过程中,末端执行器对其快速稳定高效率的传输起着关键作用。在满足设计强度、刚度的条件下,以末端执行器轻量化为目标,建立了末端执行器的三维模型,利用有限元分析软件ANSYS对基板传输机器人末端执行器进行...
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