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微机械电容式加速度传感器仿真分析
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《仪表技术与传感器》2012年 第12期 1-2,8页
作者：刁爱民 杨明国 刘树勇 杨庆超 胥震海军工程大学科研部湖北武汉430033 海军驻武汉三江航空集团代表室湖北武汉430033 
微机械加速度传感器的检测模态特征频率和有效量程是进行传感器设计时必须要考虑的2个重要参数。文中在对传感器检测模态频率进行有限元分析的基础上,利用电路仿真软件Multisim对传感器等效电路进行了谐振频率分析,并根据线性度指标求...
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