摘要：使用立式连续直线镀膜生产线,采用真空磁控溅射技术在玻璃表面设计并镀制了Nb2O5/Si O2/Nb2O5/Si O2/CNx多层纳米硬质增透薄膜,并研究其透过率、硬度及理化性能。结果表明:通过引入线性阳极层离子源,控制并形成新的磁控溅射镀膜工艺,钻面玻璃产品的表面硬度达994.8 HV,是普通玻璃的2倍以上;在可见光透过率≥94%,具有一定的增透效果;经过酸/碱/溶剂/热处理后的透过率衰减ΔT<0.1%,理化性能优良。

摘要：以稀土材料钬靶,采用中频反应磁控溅射法设计并制备防蓝光多层纳米薄膜,并研究其光学、力学及耐候性等性能。研究表明:膜层对整个蓝光波段反射率达到40%左右,实现蓝光部分阻隔;600~780nm可见光波段透过率高达98%以上,反射率低于1%以下;表面铅笔硬度达到8H,3500次橡皮摩擦无变化;膜层耐候性能优良。