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检索条件"机构=清华大学精密仪器与机械学系微机械研究室"
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新型光敏聚酰亚胺微型阀
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《半导体情报》1998年 第3期35卷 43-47页
作者：王晓浩 周兆英 张文栋 吕苗 崔占东 赵彦军 赵彤清华大学精密仪器与机械学系微机械研究室 电子工业部第十三研究所 
微型阀是微流体测量系统的重要组成部分，本文提出了一种微型光敏聚酰亚胺被动阀，分析了该材料性能，叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程，并讨论了加工过程中的一些关键技术。
来源：详细信息评论
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