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检索条件"机构=清华大学精密仪器分机械学系"
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非球面检测中衍射光学补偿器的校准定位研究
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《光子学报》2009年 第6期38卷 1473-1476页
作者：康果果 谢敬辉 张浩 莫晓丽 杨晖 刘祎清华大学精密仪器分机械学系北京100083 北京理工大学光电学院北京100081 北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室北京100076 
在非球面检测中,为了消除衍射光学补偿器的位置偏差.在补偿器的外围设计、制作了位相型反射式菲涅耳波带板作为衍射光学校准器.利用微细加工手段,将补偿器和校准器整体集成在同一片基上.通过位相型反射式菲涅耳波带板的自校准功能,使其...
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