摘要：分析了蓝宝石衬底晶圆上片工艺现状,并结合工艺控制要求,提出了蓝宝石衬底晶圆上片工艺和装备智能化改造方案,设计研制了一种双工位智能化上片工艺装备,该装备采取三轴伺服控制并配合伯努力吸盘实现晶圆无损精准抓取,机器视觉技术配合机器人实现晶圆精准定位和自动装盘,并设计晶圆载具开合、锁紧机构以及升降式载具料筐,实现载具的供给、开合、锁紧、入库等动作。通过样机试验发现,装备功能和工艺精度均取得了良好的效果,满足使用要求,提高了生产效率,从根源解决了因人工操作可靠性和一致性难以保证而引起的晶圆质量问题。

摘要：为提高蓝宝石衬底晶圆清洗质量和效率,对衬底晶圆表面杂质类型和清洗工艺现状进行了分析,并采用单片和湿法清洗工艺,完成了晶圆清洗工艺方案设计和清洗设备的研制,设备采取机器人搭载双机械手实现晶圆的取放,采用可调节高度的清洗海绵头、气雾喷头配合伯努力旋转工作台等实现晶圆的清洗。通过样机试验,晶圆表面清洗效果好,无晶圆二次污染及划伤问题,清洗质量满足工艺和使用要求。