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检索条件"机构=澳大利亚悉尼大学物理系悉尼新南威尔士2006"
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直流磁控溅射Cr/Cr_2O_3金属陶瓷选择吸收薄膜的研究
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《真空科学与技术学报》2006年 第6期26卷 517-521页
作者:潘永强 Y.Yin西安工业大学光电工程学院西安710032 澳大利亚悉尼大学物理系悉尼新南威尔士2006 
光谱选择吸收薄膜的制备是太阳能集热器高效吸收太阳能的关键技术。本文首先研究了磁控溅射Cr/Cr2O3金属陶瓷选择吸收膜中,氧气流量、溅射靶电流等基本参数对靶电压的影响,然后对不同氧气流量和靶电流条件下制备的Cr/Cr2O3金属陶瓷选择...
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