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微尺寸器件光电计数系统设计
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《现代仪器》2006年 第6期12卷 42-44页
作者:董楠 蒋本和 张洪哲 金颖妮烟台大学光电系统研究所烟台264005 
介绍一种针对微小器件的光电感应计数系统。采用半导体激光发射器作为光源,经过光学系统形成的最小激光束照射器件,反射光由光电三极管进行光电转换,计数控制使用单片机系统。其电路简单、可靠,可以得出较为准确的测量数据。实验结果证...
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