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检索条件"机构=电子工业部第四十研究所"
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离子注入机中高压电源主电路工作频率的确定
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《微细加工技术》1996年 第4期 49-55页
作者:罗子孝电子工业部第四十八研究所 
离子注入机中高压直流稳压电源的主电路采用了脉宽调制式变换电路。本文从控制主要元器件的功耗入手,讨论如何选择变换器的工作频率和设计主要器件的参数,以确保电源的低功耗和高效率。
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70mm平行束卡夫曼源的设计
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电子器件》1997年 第1期20卷 705-710页
作者:肖友文电子工业部第四十八研究所410111 
本文介绍一种出口束径为¢70mm的平行束离子源的设计原理,结构特点及离子源工作性能.当加束电压为1200V,孤流为4A时,净加速束流超过100mA.可用于微细加工中离子束清洗和离子束蚀刻.
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双光路球心象胶合定心仪设计
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电子工业专用设备》1997年 第1期26卷 21-24页
作者:高虹电子工业部第四十五研究所 
本文介绍了一种高精度双光路球心象胶合定心仪的设计思路,并剖析它与普通TD型胶合定心仪的差异。
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三线接触三段式椭圆截面插孔高可靠接触对的研制
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《机电元件》1992年 第1期12卷 4-10页
作者:谢文江机械电子工业部第四十研究所 
本文介绍了研制YL系列圆形连接器时,根据电接触理论和可靠性理论,设计出三线接触三段式椭圆截面插孔及其接触对。并进行了设计计算和强度校核,用实验的方法解决了接触压力最佳值的选取,对接触对采取了固体润滑,低温热处理和可靠性筛选...
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XY-101显影机的喷头
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电子工业专用设备》1997年 第2期26卷 45-46页
作者:周占富电子工业部第四十五研究所 
介绍XY—101显影机雾状显影喷射喷头的设计原理及工作原理。
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双面曝光机中观察对准显微镜的机械设计
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电子工业专用设备》1998年 第1期27卷 26-28页
作者:高仰月电子工业部第四十五研究所 
扼要介绍了适用于双面曝光观察对准显微镜的结构设计,并对双面观察对准的独特性和技术难点进行了剖析,成功地解决了该系统不能整体调焦的难题,使该系统在Z向不移动的情况下达到了调焦和齐焦的目的。
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高精度集成稳压器零电压调整系数研究
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《微电子学》1999年 第1期29卷 15-18页
作者:吴剀劼 王荟 吴玉行中国科技大学研究生院 电子工业部第四十三研究所 
从理论上分析了集成稳压器的瞬态响应和电压调整系数,给出了电压调整系数为0的临界条件。根据分析结果,设计出一种高精度集成稳压器,对其电压比较器的输入阻抗和稳压器的时间常数及增益进行了分析,得到了满意的效果。
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0.35μm分辨率的远紫外投影光刻物镜
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电子工业专用设备》1999年 第1期28卷 14-18页
作者:段立安电子工业部第四十五研究所 
介绍一种248nm谱线投影光刻物镜光学设计结果,提出制造该镜头应解决的一些技术问题。
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一种高精度基片预对准机构
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电子工业专用设备》1997年 第1期26卷 35-38页
作者:董同社电子工业部第四十五研究所 
主要介绍了一种高精度基片预对准机构的设计思想、机构组成。
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强流离子光学计算方法
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电子器件》1997年 第1期20卷 699-704页
作者:戴习毛电子工业部第四十八研究所长沙410111 
本文讨论利用计算机辅助设计建立强流离子光学的一种计算方法.可直接给出空间电位分布及离子运动轨迹,并且设计验证了几个实例.获得满意的结果.
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