摘要：研制出一台满足集成电路微组装工艺所需的高温烧结炉，介绍该烧结炉的结构组成和设计原理。

摘要：本文介绍了用于连续烧结锰锌铁氧体元件的大型专用设备的研制情况，论述了其总体技术方案及设计思想，主要组成部分的技术特性及设备实际运行结果和分析。

摘要：本文简述了透明电热炉的原理、基本特性及几种主要材料的选择,并引出了一些基本热工设计计算方法。最后,简介了研制结果和使用情况。

摘要：本文介绍了一种以Ｃ６０Ｐ可编程控制器为核心的控制系统。该系统用于氮窑的液压循环控制。本文描述了控制系统的组成、控制原理、控制方法以及程序设计思想。

摘要：介绍了氢氧合成氧化工艺的优越性，基本机理，以及如何根据工艺要求、硅片的几何尺寸。

摘要：由于硅材料的熔点较高（１４２０℃），难以用传统的电阻加热方式来蒸发硅材料，为产生高纯硅分子束流，特设计出这种能适应于超高真空环境的大功率电子枪，该枪对其它高熔点材料（钨、钼、钽等）同样具有良好的蒸发性能。本文对这种电子枪的原理及性能作一简单的介绍。

摘要：一、前言700keV高能离子注入机,其靶室设计采用了旋转靶结构。如图1所示,在旋转靶盘上均布着8个靶位,分别称为1号靶位、2号靶位、……依此类推至8号靶位。其中1～7号靶用来对靶片注入,8号靶上装有铜网,以便在调束过程中,通过观察窗和微光电视系统,对离子束的束径大小、束对中情况、过扫程度进行定性分析。在换片过程中,步进电机的驱动轴,一端驱动靶盘,另一端驱动编码盘,位于编码盘两侧的光电定位装置,将靶位信息送入靶室电源进行处理,从而准确地控制靶位的变换。

摘要：聚焦离子束技术是一项有前途的微细加工技术,聚焦光学系统的设计是该技术的关键之一。本文介绍用于聚焦离子光学系统的静电透镜特性计算程序,该程序可计算任何旋转轴对称静电透镜的特性,可用于寻求球差和色差系数较小的静电透镜的电极结构。