摘要：四氟化碳(CF_(4))是微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体之一。在电子级CF_(4)的制备工艺流程中,精馏提纯技术是CF_(4)气体纯度能否达到电子级的关键所在。目前,本公司自主研发的电子级四氟化碳系统制备技术已实现工业化量产,但精馏提纯过程存在能耗较高,效率和收率较低等问题。针对以上问题,本项目设计开发了一款由冷凝器、再沸器和精馏塔三合一构成的不带捕集器的整体式精馏装置,采用多级液相分布精馏技术结合优化工艺操作参数,取得良好提纯效果,实现了节能、高效。

摘要：在集成电路制造中,四氟化碳(CF_(4))气体常用作硅片干法蚀刻和清洗剂,而被广泛用于微电子、太阳能、电池、火箭等领域。采用氟碳直接合成法制备四氟化碳时,三氟化氮等杂质的产生不可避免,并且这些强氧化剂又会影响四氟化碳的使用,所以去除氧化性杂质一直都是工业上不可避免的问题,因此,研究四氟化碳的提纯对工业应用有着重要的意义。为了将四氟化碳提纯到99.9995%以上的电子级水平,必须将四氟化碳中的三氟化氮杂质控制在1ppmv以下。本文利用四氟化碳与三氟化的分解温度相差较大的特点,设计开发了五塔串联中频热解装置以去除三氟化氮,并通过试验对热解工艺条件进行优化,取得了良好的效果。

摘要：化工项目建设与生产准备所涉及的专业和领域不同,生产准备人员负责装置的试生产和运行。施工单位负责项目建设,按图施工。装置工程中间交接之前,建设单位会组织监理、设计院对装置进行三查四定,三查四定排查出的问题可以解决现场施工与图纸是否相符问题,但是试生产经常出现的管道不通,管件错误,设备损坏等问题并不全在三查四定排查范围,因此,需要有经验生产准备人员提前进入施工现场,参与施工过程管理,对施工过程中的管道内洁、设备和管道材质、管件安装、塔内件安装和隐蔽工程做重点管控,全过程参与检查和确认并留下管理痕迹,避免试车过程出现问题,保证试车顺利,最大限度降低试车成本和安全风险。