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检索条件"机构=粒子技术与辐射成像教育部電点实验室"
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高纯锗探测器低本底硅前端电路基板设计
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《核电子学与探测技术》2020年 第5期40卷 685-689页
作者：宋天骁 蔡坚 何力 邓智 王谦清华大学微电子学研究所北京100084 清华大学工程物理系北京100084 粒子技术与辐射成像教育部電点实验室北京100084 北京信息科学与技术国家研究中心北京100084 同方威视技术股份有限公司北京100084 
设计并完成了用于高纯锗探测器的硅基低本底前端电路基板。结合装配需求、基板特征阻抗和工艺可行性完成了尺寸为15 mmX15 mm,包含14个通孔结构的硅基板设计。利用光敏性苯并环丁烯在硅基板上进行焊盘开窗,同时作为金属布线保护性介质...
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