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纳型卫星CMOS遥感相机及其实验研究
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《光学技术》2004年 第6期30卷 740-742,744页
作者:于世洁 尤政 林杨清华大学精密仪器与机械学系北京100084 
为了满足纳型卫星遥感系统的要求,设计了基于互补型金属氧化物半导体CMOS(complementarymetalox idesemiconductor)图像传感器的遥感相机。通过热平衡实验,得到了CMOS相机平均暗输出和暗不一致性随温度的变化曲线。它适于在15~50℃的...
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电子束曝光机工件台结构的设计研究
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《清华大学学报(自然科学版)》1990年 第5期30卷 61-69页
作者:赵立人 顾书偃 佟玉环 徐丰仁精密仪器及机械学系 
根据激光定位光栅扫描电子束曝光机工件台具有的特点,设计了x向用静压气浮导轨结构,实现快速扫描;y向采用机械滚珠导轨,满足间歇步进运动,即走一步、停一段时间再走一步、为保证在高速运动下的稳定性,将机械驱动系统、激光测量...
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拆卸与或图模型建模过程中连通性筛子的筛选率估计
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机械设计与研究》2003年 第4期19卷 19-21页
作者:高建刚 向东 陈海峰 段广洪 汪劲松清华大学精密仪器与机械学系北京100084 
拆卸与或图是拆卸模型中的一种,它的建模过程需要利用多重筛子进行筛选,筛选率的估计是合理安排筛选顺序的前提。本文阐明了采用极大似然原理估计连通性筛子筛选率的方法,分析了估计过程中样本容量的确定、随机样本的产生、导出子图连...
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模糊AHP方法在产品绿色模块化设计中的应用
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《中国机械工程》2000年 第9期11卷 997-1000页
作者:李方义 刘钢 汪劲松 段广洪 H.C.Zhang清华大学精密仪器与机械学系 美国Texas Tech University 
绿色设计和绿色制造是制造业实施可持续发展的关键技术。在绿色产品设计开发过程中采用模块化技术 ,易于增加产品的材料相容性、可维护性、可拆卸及可回收性等。总结了模块化方法在产品绿色设计中的应用特点 ,考虑环境问题应引进的模块 ...
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三轴硅微静电加速度计的实验研究
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《中国惯性技术学报》2011年 第3期19卷 359-363页
作者:王嫘 韩丰田 董景新 刘云峰清华大学精密仪器与机械学系北京100084 
静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、环形敏感质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,...
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六轴硅微静电加速度计的悬浮回路设计
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《中国惯性技术学报》2010年 第2期18卷 209-213页
作者:段光武 韩丰田 付真斌清华大学精密仪器与机械学系北京100084 
传统的静电加速度计在空间微弱加速度测量方面可以获得极高的分辨率。提出了一种采用静电悬浮、可实现六轴加速度测量的微静电加速度计。敏感组合件采用玻璃-硅-玻璃三层键合结构、体硅加工工艺;检测质量采用"回"字形结构,以...
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粗糙表面的可控润湿性研究
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《传感技术学报》2006年 第5A期19卷 1709-1712页
作者:朱亮 冯焱颖 叶雄英 武雁斌 周兆英清华大学精密仪器与机械学系 
本文利用微机械加工技术,通过改变材料表面微观几何结构,研究材料表面微结构对于表观润湿性的影响规律.我们在以前工作的基础上,分别研究了不同设计尺寸的表面微柱阵列结构的亲水表面的表观接触角的变化,研究结果表明,通过改变材料表面...
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生产过程状态变量测试技术(PSMT)
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《清华大学学报(自然科学版)》1991年 第5期31卷 27-32页
作者:冯冠平精密仪器及机械学系 
介绍了一种适用于自动化机械的新的测试技术,这种生产过程状态变量测试技术同过去常用的测试方法的不同,是在产品加工过程中直接对产品的质量进行控制,并同时对机械的工作状态(包括刀具、模具)的故障进行监控。还介绍了如何建立状...
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弹道导弹落点密集度综合评定方法
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《中国惯性技术学报》2011年 第4期19卷 499-504页
作者:郑小兵 董景新 张志国 孟令晶清华大学精密仪器与机械学系 大连91550部队 
针对导弹小子样试验中精度评定工作需要,设计了一种弹道导弹落点密集度综合评定方法。首先从平衡研制方风险和使用方风险的角度出发,讨论了最小试验发数的确定方法;然后设计了序贯试验检验方法,论证了试验过程中达成最优试验样本的可能...
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微米纳米科学技术发展及产业化启示
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《纳米技术与精密工程》2007年 第4期5卷 235-241页
作者:丁衡高 朱荣清华大学精密仪器与机械学系北京100084 
近年来,微米纳米科学技术发展迅速,在产业化方面已经取得了不少进展.本文从发展现状和趋势上,结合我国具体情况,阐述了以下观点:开展创新工艺和设计方法研究,提高微机电(MEMS)应用和产业化能力;开展基础研究,提高MEMS器件和系统的水平;...
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