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基于扫描电镜和能谱仪的薄膜表面形貌和厚度同时测量研究: 收藏
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引用; 《分析科学学报》2023年第3期39卷 355-360页; 作者：任飞旭曲国峰张鑫韩纪锋宋瑞强刘星泉陈蕾颜筱宇张艺蓉冷强钟刘吉珍四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室四川成都610065 美因茨约翰内斯-古腾堡大学赫姆霍兹研究所德国美因茨55099 中国核动力研究设计院四川成都610041; 扫描电子显微镜通过电子束轰击样品产生的二次电子、背散射电子等实现对样品表面形貌的观测,通过对样品横断面的观测来获得薄膜厚度信息,但难以实现对薄膜表面形貌和厚度的同时观测。通过能谱仪研究各种厚度的薄膜同其激发的特征X射线...; 扫描电子显微镜通过电子束轰击样品产生的二次电子、背散射电子等实现对样品表面形貌的观测,通过对样品横断面的观测来获得薄膜厚度信息,但难以实现对薄膜表面形貌和厚度的同时观测。通过能谱仪研究各种厚度的薄膜同其激发的特征X射线计数率之间的关系,实现了通过特征X射线计数率来测量薄膜厚度的方法。对于激光吹气系统所需的钨薄膜而言,结果表明,计数率随薄膜厚度的增加先线性增加后趋于稳定,利用该曲线的直线部分作为刻度曲线,可实现对5~19μm范围内钨薄膜表面形貌和厚度的同时测量,精度约为10%,通过增加电子能量可实现对更厚样品的测量。该方法可推广到其他种类的薄膜研究,有助于推动薄膜物理研究的开展。; 来源：详细信息评论

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