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检索条件"机构=航天工业总公司十六研究所"
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微米／纳米技术在微惯性器件中的应用
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《仪器仪表学报》1996年 第S1期17卷 153-156页
作者：陈锦杜航天工业总公司十六研究所 
微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠细微加工技术。从需要出发，合理设计，采用新技术新工艺，发...
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