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上海光源TSP&NEG复合电源的研制
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《真空》2007年 第4期44卷 72-74页
作者:安双利 蒋迪奎 蒋罗荣 金建初中国科学院上海应用物理研究所 上海三井真空设备有限公司上海201708 苏州凯特电子有限公司江苏苏州215008 
上海第三代同步辐射光源(SSRF)的动态真空要求为1.3×10-7Pa,要获得这样的超高真空环境,真空系统配置了多台钛升华泵(TSP)和非蒸散型吸气剂(NEG)组件,针对这两种设备的工作参数,研制了一种带有计算机通信接口的复合电源,并在LabVIE...
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