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控制力精密抛光装置的设计与实验研究
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《光学技术》1999年 第4期25卷 68-69页
作者:史兴宽 杨健 任敬心西北工业大学精密超精密加工研究室 
本文设计并研制了一套可控制抛光作用力的精密抛光装置,该装置具有抛光作用力微调功能及显示功能。用该装置对Zerodur陶瓷玻璃进行控制力抛光实验,稳定地获得了具有纳米级及亚纳米级表面粗糙度的超光滑表面,将该装置与机械化...
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