摘要：目前一般均采用电荷放大器作为微机械陀螺前置接口电路,实现电容变化信号C/V转换提取。文章设计了一种能够抑制低频噪声的微机械陀螺前置C/V转换电路,分析了低噪声前置C/V转换电路的工作原理,用Saber软件对传统电荷放大器和低噪声前置C/V转换电路从时域及频域方面进行了仿真对比,最后通过实验验证仿真结果的可靠性。仿真及实验结果表明,设计的前置C/V转换电路能更好地抑制低频噪声。

摘要：为快速准确地检测出一张硅片上数百个MEMS扫描镜的良品与次品,设计了一种自动测量系统。选用高精度二维位置敏感探测器(PSD)设备,设计其后置硬件电路并编写数据采集的程序。结合经典三角法测量角度的原理搭建自动检测系统,在室温和正常光照条件下,完成了MEMS扫描镜光学性能圆片级自动检测的实验。结果表明:该系统能够快速准确地同时对扫描镜的两个轴进行检测并给出结果。

摘要：设计一种基于FR-4材料的电磁驱动微扫描镜,进行了有限元仿真,并利用标准PCB技术制作了器件。测试结果表明,器件具有约0.015(°)/m A的静态转角,在50~500 Hz驱动频率下光学转角始终大于±2°,在360 Hz处达到最大±34.18°,同时反馈电压与扫描角度具有良好的线性关系。器件通过了高低温及寿命试验,其可靠性得到了验证。