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检索条件"机构=西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室"

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一种基于光电极值法的光学膜厚监控系统的改进设计: 收藏
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引用; 《应用光学》2002年第4期23卷 30-32,25页; 作者：权贵秦韩军弥谦西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室陕西710032; 介绍目前通用的基于光电极值法的光学膜厚监控系统的特点 ,针对其缺点进行改进设计 ,新系统的稳定性有较大提高 ,可满足镀制多层介质薄膜器件的要求。; 介绍目前通用的基于光电极值法的光学膜厚监控系统的特点 ,针对其缺点进行改进设计 ,新系统的稳定性有较大提高 ,可满足镀制多层介质薄膜器件的要求。; 来源：详细信息评论

基于ANSYS的二维谐性磁场分析: 收藏
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引用; 《应用光学》2005年第6期26卷 35-37页; 作者：李龙奎苏俊宏徐均琪王笑丹西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室陕西西安710032 吉林大学生物与农业工程学院吉林长春130022; 非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布对镀膜有着重要的影响。介绍一种利用有限元法求解非平衡磁控溅射镀膜机中带电线圈所产生的磁场的方法。根据电磁场理论,推导出求解带电线圈所产生的磁场的计算模型,利用基于有限元法的AN SY S软件对...; 非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布对镀膜有着重要的影响。介绍一种利用有限元法求解非平衡磁控溅射镀膜机中带电线圈所产生的磁场的方法。根据电磁场理论,推导出求解带电线圈所产生的磁场的计算模型,利用基于有限元法的AN SY S软件对非平衡磁控溅射镀膜机中线圈所产生的磁场分布进行了数值模拟。通过与实测值进行比较,验证了计算模型和计算结果的可靠性。总结了非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布情况,为优化镀制薄膜设计方案和提高薄膜质量提供了参考依据。; 来源：详细信息评论

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