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微型压阻式压力传感器的研制
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《电子科技杂志》1997年 第1期 22-25页
作者：朱作云 李跃进 王文襄西安电子科大微电子研究所 西安电子科大微电子所 
用微机械加工技术开发出一种微型方杯压阻式压力传感器。文中介绍了微型压力传感器的设计思想和研制工艺中的关键技术，并给出了该传感器的参数。测试结果表明该传感器的主要性能已达到国内先进水平。
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