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检索条件"机构=辽宁省植入器械与界面科学重点实验室"
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真空电弧源冷却结构对温度场的影响研究
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《真空》2022年 第6期59卷 29-33页
作者：刘兴龙 沈佩 王光文 岳向吉 蔺增东北大学机械工程与自动化学院辽宁沈阳110819 沈阳添和毅科技有限责任公司辽宁沈阳110027 泰安东大新材表面技术有限公司山东泰安271024 辽宁省植入器械与界面科学重点实验室辽宁沈阳110819 
真空电弧离子镀技术是工业界使用最为广泛的表面处理技术之一。在电弧离子镀实际应用过程中,所制备涂层的表面大颗粒仍然是困扰高端制造的一大难题,造成这一现象的根本原因是靶材表面局部过热产生的液滴飞溅。减少液滴产生的有效方法有...
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