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检索条件"机构=郑州大学物理工程学院电子科学技术系"
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串连差分白光干涉法测量金属极薄带厚度
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《光电工程》2008年 第9期35卷 55-59页
作者：杜艳丽 严惠民郑州大学物理工程学院电子科学技术系郑州450052 浙江大学光电系国家光学仪器工程技术研究中心杭州310027 
利用白光作为光源的干涉仪(WLI)克服了单色相干光干涉相位不确定,不能够进行绝对测量的缺点,本文设计了一种串连差分白光干涉(DMLI)测量极薄金属带材厚度的新系统。该系统的特点是由两个迈克尔逊干涉仪(MI)串联组成差分干涉系统,两个干...
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