摘要：感应加热式蒸发源用于卷绕式真空蒸发镀膜机蒸镀铝膜，近年来在日本得到了广泛 地应用。为了把这一先进技术在国内加以应用推广，本文在介绍了感应加热式蒸发源加 热蒸发原理的基础上，对蒸发源的结构及其主要参数、感应加热器的电气参数计算及感 应源的电气原理等方面作了详尽地论述。文中最后还就蒸发源有关的设计问题，诸如坩 埚与蒸镀辊的距离、坩埚之间的布置及输电导线的设计等问题做了介绍，并且指出了这 种蒸发源在运转过程中应注意的几个问题。

摘要：ＪＰＧ－６型磁控溅射低阻值电阻镀膜机，是代替过去生产效率低，产品性能差的蒸发式镀膜机的一种新型镀膜设备。本文就设备的研制意义、工作原理、主要性能指标，以及结构设计特点等问题进行了论述．文中还给出了低阻值金属膜和金属氧化膜电阻的主要参数及其阻值范围。