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片上网络系统的研究综述
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《微纳电子与智能制造》2022年 第4期4卷 11-24页
作者:钟毅 崔小欣 王源北京大学集成电路学院北京100871 集成电路高精尖创新中心北京100871 
随着集成电路工艺进一步朝着纳米尺度发展,晶体管尺寸缩小使计算代价变得越来越小,但片上连线容量却因为物理限制无法得到同等程度的提升,片上计算和通信的限制瓶颈已经发生了实质性逆转。考虑到芯片对系统通信能力的要求越来越高,新的...
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后摩尔时代芯片互连新材料及工艺革新
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《中国科学:化学》2023年 第10期53卷 2027-2067页
作者:张思勉 邓晓楠 王宇祺 武逸飞 刘佳宁 李正操 蔡坚 王琛清华大学材料学院北京100084 清华大学集成电路学院北京100084 新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室北京100084 先进材料教育部重点实验室北京100084 集成电路高精尖创新中心北京100084 
受高算力芯片的需求驱动,尽管摩尔定律日趋减缓,高端芯片的工艺复杂度和集成度仍在逐代增大.随着前道工艺中晶体管架构与其集成密度不断优化提升,后道工艺所涉及的芯片内互连技术挑战愈发严峻,迫切需要对互连材料与工艺进行革新.同时,...
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GaN垂直结构器件结终端设计
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《电子与封装》2023年 第1期23卷 40-51页
作者:徐嘉悦 王茂俊 魏进 解冰 郝一龙 沈波北京大学集成电路学院北京100871 集成电路高精尖创新中心北京100871 北京大学物理学院北京100871 
得益于优异的材料性能,基于宽禁带半导体氮化镓(GaN)的功率电子器件得到广泛关注。与横向的高电子迁移率晶体管(HEMT)结构相比,垂直结构的GaN功率器件更易于实现高耐压和大电流,且其不被表面陷阱态影响,性能较为稳定,有望进一步拓展在...
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高Sigma良率分析与优化方法综述
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《微纳电子与智能制造》2021年 第2期3卷 96-105页
作者:胡文菲 叶佐昌 王燕清华大学集成电路学院北京100084 清华大学北京未来芯片技术高精尖创新中心北京100084 清华大学北京信息科学与技术国家研究中心北京100084 
随着特征尺寸不断缩小,工艺浮动对良率的影响愈发严重。而集成电路中重复次数很大的电路模块,例如SRAM单元,需要极高的良率。此时,传统的良率分析方法如蒙特卡洛方法,以及传统的电路优化方法如差分进化方法所需的超大的计算量变得难以接...
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