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新型晶体平面精密研磨抛光机的设计
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《组合机床与自动化加工技术》2016年 第5期 123-125页
作者：郑强 王友林 马明明 吴亚州 朱艳飞山东理工大学机械工程学院山东淄博255049 青岛特种汽车集团有限公司山东青岛266000 
针对现有抛光机不能纠正晶片厚度偏斜和晶片研磨厚度无法自动控制问题,设计了一种新型抛光机,该设备主要由抛光盘及其驱动装置和工件的固定调节装置部分组成,通过控制载套的上部凸缘与载套座的上表面的距离可以控制研磨晶片的厚度,通过...
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