摘要：阐述了采用MEMS技术与反外延技术相结合在硅片表面制造具有矩形板状立体结构的硅磁敏三极管的设计原理、结构和工艺。结果表明 ,设计的硅磁敏三极管制造技术不但能与IC工艺相兼容 ,而且便于集成化 ,将有广泛的应用领域。

摘要：阐述基于SOI硅片制造新型P+ I N+双注入磁敏差分电路的设计原理和制造工艺。构成新型P+ I N+双注入磁敏差分电路的磁敏三极管的复合区采用MEMS中的各向异性腐蚀技术进行设置,给出了这种复合区的复合机理。实验结果表明:此种三极管具有磁灵敏度高、噪声低和可靠性高的特点。因此,由这种新型磁敏三极管构成的差分电路具有温度漂移小的优点。

摘要：本文对压阻式振动角加速度传感器的惯性变换系统的结构特性、工作原理进行了分析讨论 .建立了数学模型 .并用实验证实了该惯性系统设计合理 .它可以作为角度传感器的惯性变换系统 ,用于振动角位移、角速度。

摘要：阐述了采用应变式不锈钢膜片设计智能测井流速传感器的原理、结构设计、信号放大电路、电压／频率变换电路、电源载波调制电路的设计原理和工作特点，提出了一套智能化油井注入液体流速检测方案。实验结果表明，该技术方案可行，并展望了在石油生产中的应用和发展前景。

摘要：结合油田井下流速测量的特点 ,论述了一种适用于井下测量的低流速、高粘度油井注入液体流速检测的新型传感器。该传感器采用PTCR自热耗散原理检测油井注入液体流速。解决了井下空间狭窄、流体粘度大、工作温度偏高、环境压力偏大等测量难题。设计并制造了井下PTCR热耗散式流速传感器。实验和试用结果表明 ,该传感器具有良好的重复性和可靠性 。