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纳米级精密机械的设计及特性
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《国防科技参考》1997年 第3期18卷 90-93页
作者：Ying Xu P.D.Atherton M.McConnell T.R.Hicks 雍玲Queensgate Instruments Ltd.Waterside Park Bracknell RG12 1RB UK UK 
最近,Queensgate仪器有限公司研制出一系列超精定位机械,它们将Queensgate的压电及纳米级传感器技术融合为具有亚纳米级定位精度能力的多轴定位控制器。在这篇论文中,将介绍和讨论在这些机械的研制中所用到的一些技术,以解释如何获得纳...
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